上海微电子新一代光刻机模型亮相。讨论涉及量产仍需攻克的核心难点。涉及上海微电子与光刻机研发。

上海微电子在进博会展示光刻机模型；展出SSC800、SSB800前道光刻装备；涉及上海微电子、进博会与半导体装备行业。

上海微电子装备集团在进博会中国馆展示新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800模型。展示我国前道光刻装备自主化阶段性成果，成像性能与国际同类领先产品相当。涉及上海微电子与国产半导体装备。