上海微电子装备集团在进博会中国馆展示新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800模型。展示我国前道光刻装备自主化阶段性成果，成像性能与国际同类领先产品相当。涉及上海微电子与国产半导体装备。