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硅光子芯片
激光退火集成光隔离器于硅光芯片
空
2026-09-15 12:03:44
日本京瓷公司与东北大学开发出新型激光退火技术。只加热需要处理区域,将光隔离器直接集成到硅光子芯片上,不伤及周边组件。论文发表于IEEE Access。
硅光子芯片
激光退火
光隔离器
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