摩根大通分析师称，因AI需求强劲，阿斯麦正研究2028年生产超110台EUV设备。2026年低数值孔径EUV产能约65台，计划明年后年逐年提高30%。

武汉新芯发布面向未来十年的“芯光计划”，聚焦光感互联、三维存算。计划力争实现产能翻两番。加快建设特色工艺晶圆制造和三维集成产业平台。