国产光刻机跻身第一梯队成为话题。内容指向国产半导体设备技术水平提升。涉及光刻机产业与半导体从业者。

我国新一代光刻机模型亮相。该模型为国产光刻机相关展示。涉及国内光刻机研发领域。

上海微电子装备集团在进博会中国馆展示新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800模型。展示我国前道光刻装备自主化阶段性成果，成像性能与国际同类领先产品相当。涉及上海微电子与国产半导体装备。