奕瑞科技在半年度业绩会上介绍，推出QRGA-01S、QRGA-CIS、QRGA-HPR三个系列工艺管控级产品及配套电弧检测系统。该产品为半导体工艺提供实时痕量气体监测与等离子体状态预警，已在多家半导体客户应用。