• 炉管

盛美上海在业绩说明会上表示,随着中国客户持续扩充产量,2026年中国大陆晶圆制造设备市场需求稳健。高温SPM和炉管等产品周期有望带来增长动力。公司将推进Track PECVD等设备客户验证。

石英股份称,采用自主砂制备的炉管高纯石英产品已通过国内具备DRAM大规模量产能力的IDM厂商认证;海内外客户认证工作持续推进。