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ZW1000光刻机
光联芯科首发无掩膜光刻机
空
2026-09-11 03:03:07
光联芯科在中国光博会全球首发ZW1000硅光无掩膜可编程光刻机。设备支持12英寸晶圆,全流程约5小时,良率提升至99%。涉及光联芯科与光通信芯片。
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