华海清科-扩产离子注入

【华海清科：上海浦东金桥新基地将破解离子注入装备产能瓶颈】对于11月4日公司竞得的上海浦东金桥4.6万平方米装备小镇地块，华海清科董事长、总经理王同庆今日在2026年三季报业绩说明会上称，本次竞得的上海浦东新区金桥地块，为上海集成电路高端装备研发制造基地项目建设用地。该基地将配套洁净厂房、装配与测试设施，补强离子注入装备规模化制造能力，破解产能瓶颈。