先锋精科称在手订单同比增长超80%，陶瓷加热器四季度将小批量量产并贡献收入，静电卡盘研发中。半导体零部件进展利好，后续关注交付及客户验证。

先锋精科陶瓷加热器已进入量产准备阶段，良率超80%，主要客户包括中微公司、北方华创。国产半导体零部件突破，利好公司及设备链。关注订单。